華龍網(wǎng)訊（首席記者 佘振芳）11月5日，隨著“重慶根、北理芯”的字樣和一片MEMS晶圓浮現(xiàn)在啟動(dòng)臺(tái)上，北京理工大學(xué)重慶微電子研究院（以下簡稱北理微電院）微納制造工藝線在西部（重慶）科學(xué)城西永微電子產(chǎn)業(yè)園順利通線，項(xiàng)目一期投資近1.5億元。同日，北京理工大學(xué)與重慶西永微電子產(chǎn)業(yè)園在渝舉行“2023西部微納傳感技術(shù)產(chǎn)學(xué)研融合交流會(huì)”。

當(dāng)前，隨著國內(nèi)智能網(wǎng)聯(lián)汽車、智能終端、可穿戴設(shè)備與消費(fèi)電子的高速發(fā)展，以MEMS（集成微納系統(tǒng)）為代表的主要應(yīng)用于激光雷達(dá)、環(huán)境感知與智能傳感器的芯片，迎來發(fā)展機(jī)遇期。

北理微電院位于重慶西永微電子產(chǎn)業(yè)園，擁有近10000平方米建筑面積的科研大樓和1200平方米超凈面積的6吋MEMS晶圓微納制造工藝中試線，目前在職科研人員近90名，碩博比超過70%。隨著微納制造工藝線順利通線，標(biāo)志該研究院具備了MEMS芯片從前瞻性科研、產(chǎn)業(yè)應(yīng)用設(shè)計(jì)、生產(chǎn)與工藝迭代優(yōu)化，到封裝與測試的全鏈條創(chuàng)新策源能力，并能夠?yàn)橹貞c打造33618現(xiàn)代制造業(yè)集群提供“國內(nèi)領(lǐng)先、國際一流”的MEMS芯片產(chǎn)品與服務(wù)。

據(jù)了解，MEMS芯片技術(shù)是指在納米尺度的“微觀世界”，將芯片、微納制造與微機(jī)械系統(tǒng)融合的前沿技術(shù)。基于光刻、刻蝕等傳統(tǒng)半導(dǎo)體技術(shù)，融入超精密機(jī)械加工，并結(jié)合力學(xué)、化學(xué)、光學(xué)等學(xué)科知識(shí)和技術(shù)基礎(chǔ)，使得一個(gè)毫米或微米尺度上的芯片結(jié)構(gòu)具備精確而完整的機(jī)械、化學(xué)、光學(xué)等特性。

交流會(huì)上，北理微電院院長謝會(huì)開介紹，在集成電路行業(yè)不斷發(fā)展的背景下，傳統(tǒng)的集成電路無法持續(xù)地滿足終端領(lǐng)域日益變化的需求，基于MEMS芯片技術(shù)的集成電路具有更強(qiáng)的性能，低功耗、速度快、可靠性高等優(yōu)點(diǎn)，可廣泛應(yīng)用在智能制造、自動(dòng)駕駛、人工智能等多個(gè)領(lǐng)域。未來，北理微電院將立足學(xué)科優(yōu)勢，致力于建設(shè)中國西部MEMS研發(fā)+產(chǎn)業(yè)應(yīng)用的創(chuàng)新策源地。

集成電路是世界科技競爭的制高點(diǎn)。西永微電園副總經(jīng)理陳昱陽表示，西永微電園正深入貫徹落實(shí)市委市政府“33618”現(xiàn)代制造業(yè)集群體系決策部署，大力發(fā)展以集成電路為核心的高端智能產(chǎn)業(yè)，下功夫落實(shí)產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)再造，奮力建設(shè)功率半導(dǎo)體、模擬和數(shù)�；旌舷冗M(jìn)特色工藝、硅基光電子、碳基集成電路、SIC 等三代半導(dǎo)體和未來集成電路先進(jìn)產(chǎn)業(yè)集群，從芯出發(fā)，促進(jìn)電子信息和新能源汽車兩大萬億級(jí)產(chǎn)業(yè)深度融合。

今年 8至9月，西永微電園電子信息產(chǎn)業(yè)連續(xù)兩個(gè)月實(shí)現(xiàn)逆勢正增長，8月規(guī)上工業(yè)產(chǎn)值同比增長 9.52%，9月同比增長 1.8%，并創(chuàng)單月歷史新高。近兩周，西永微電園還圍繞““芯融合 共未來”主題，攜手長安、慶鈴、賽力斯、鑫源汽車成功舉辦四場汽車電子對(duì)接會(huì)，為兩大萬億級(jí)產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)進(jìn)行供需精準(zhǔn)匹配，一方面不斷夯實(shí)萬億級(jí)新智能汽車增長根基，另一方面又助力園區(qū)電子信息制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)。